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熱式氣體質(zhì)量流量計基于熱擴散原理，即利用流體流過發(fā)熱物體時，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量成一定的比例關系，具體來說，流量計的傳感器有兩支標準級的RTD，一支用來做熱源，一支用來測量流體溫度，流體經(jīng)過時，熱源的熱量損失與流量的大小成線性關系，熱式氣體質(zhì)量流量計就可以把這種關系轉換成測量流量信號的線性輸出。

利用熱擴散原理制造的流量計有兩種設計方法，基于共同的模型，如圖：

P/ΔT=D+Eq^k_m

其中 P--耗散功率

ΔT--兩個傳感器間的溫度差

D--與實際流動有關的常數(shù)

E--與測量氣體的熱性能有關的常數(shù)

q _m--質(zhì)量流量

K--指數(shù)系數(shù)

溫度傳感器（RTD）分別置于氣流中兩種金屬細管內(nèi)，一熱電阻測得氣流溫度T ,另一細管經(jīng)功率恒定的電熱加熱，其溫度Tv高于氣流溫度，氣體靜止時Tv最高，隨之質(zhì)量流速pU增加，氣流帶走更多熱量，溫度下降，測得溫度差ΔT=Tv-T，這種方法稱作“溫度差測量法”或“溫度測量法”。